#BSPDN(Back side power delivery network)웨이퍼 후면에서 전력을 전달한다.단순히 칩의 통합을 넘어 웨이퍼 후면까지 적극적으로 활용한 기술을 말한다CMP장비 : #케이씨텍CMP Slurry : 케이씨텍, #솔브레인, #SKCCMP 재생 PAD : #에프엔에스테크세정장비 : #피에스케이, 케이씨텍, #디바이스이엔지, #유진테크세정소재 : #한솔케미칼, #원익머티리얼즈, 솔브레인세정 PR스트립(장비) : 피에스케이세정 PR스트립(소재) : 솔브레인, #동진쎄미켐세정코팅 : #코미코, #아이원스, #원익QnC, #뉴파워플라즈마계측장비 : #넥스틴, #오로스테크놀로지Oxide etcher(옥사이드식각) : #에이피티씨(국산화 개발중), #하나머티리얼즈 인텔은 자체 개발한 전력공급 기..