에스앤에스텍이 내년 상반기 극자외선(EUV) 블랭크마스크 양산을 시작한다. 바이너리(BIN) 제품뿐 아니라 위상변위마스크(PSM)까지 총 4종의 제품을 공급한다는 계획이다. EUV 펠리클의 경우 내년 3분기 제품화 예정이다. 승병훈 에스앤에스텍 전무는 《디일렉》이 지난 12일 개최한 '리소그래피&패터닝 테크 콘퍼런스 2023'에서 "(EUV 블랭크마스크) 양산을 내년 상반기 정도로 생각을 하고 있다"며 "(제품 양산이 늦어진 이유는) 결함(디펙) 때문인데, 제품 공급을 시작하기 위해서는 30nm 이상 결함 컨트롤이 필요하다"고 말했다. 이어 "개선 작업을 계속 진행 중에 있으며, 예상하는 시점에는 그 부분들이 일정 부분 만족할 것으로 보고 있다"고 말했다. 포토마스크 보호 부품인 펠리클 신사업도 추진 중..